真空泵是提高过滤效率，加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染，一般均使用无油隔膜式真空泵，此类泵型是通过橡胶膜片的往返运动形成真空，其真空压力一般为0.08Mpa左右（单级），提高过滤速度关键是单位时间内的排气量，及真空泵的流量指标，在过滤量大、介质粘度高时颗粒堵塞滤膜情况下尤显突出。

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